薄膜作成の基礎
麻蒔 立男
日刊工業新聞社 (1996)
ISBN: 4-526-03831-8

スパッタ薄膜 ～基礎と応用～
小林 春洋
日刊工業新聞社 (1993)
ISBN: 4-526-03273-5

入門 真空・薄膜・スパッタリング
R.V.STUART
技報堂出版 (1985)
ISBN: 4-765-50358-5

薄膜の基本技術 (物理工学実験 5)
金原 あきら
東京大学出版会 (1987)
ISBN: 4-13-063041-5

スパッタ技術
和佐清孝, 早川 茂
共立出版 (1988)
ISBN: 4-320-08477-2

キッテル固体物理学入門(上)
C.キッテル
丸善 (1998)
ISBN: 4-621-04423-0

キッテル固体物理学入門(下)
C.キッテル
丸善 (1998)
ISBN: 4-621-04424-9

電気電子材料 (series 電気電子情報系 6)
塩嵜 忠
共立出版 (1999)
ISBN: 4-320-08581-7

入門 固体物性 ～基礎からデバイスまで～
斉藤 博, 大石 正和, 鈴木 和彦, 今井 和明, 澤田 孝幸
共立出版 (1997)
ISBN: 4-320-03341-8