スパッタ法による金属膜の膜厚分布

酒谷淳寛, 木田隆之, 吉澤壽夫, 平手博, 山崎登志成, 喜久田寿郎
平成22年度電気関係学会北陸支部連合大会, 福井工業高等専門学校, 鯖江市 (2010).

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