スパッタ膜のパターン形成用金属マスクの有限要素法熱変形解析 吉澤寿夫，山崎登志成，山淵龍夫，広林茂樹，喜久田寿郎，中谷訓幸 日本シミュレーション学会, 113-116 (2003). 第22回日本シミュレーション学会大会 2003/06/18-19 5-3