スパッタ膜のパターン形成用金属マスクの有限要素法熱変形解析

吉澤寿夫,山崎登志成,山淵龍夫,広林茂樹,喜久田寿郎,中谷訓幸
日本シミュレーション学会, 113-116 (2003).
第22回日本シミュレーション学会大会 2003/06/18-19 5-3

Leave a Reply

Your email address will not be published. Required fields are marked *