マグネトロンスパッタ法による金属膜の膜厚分布 酒谷淳寛，山崎登志成, 喜久田寿郎, 吉澤壽夫, 平手博, 木田隆之 J. Vac. Soc. Jpn., 54(3), 184-187 (2011). 11-Mar