マグネトロンスパッタ法による金属膜の膜厚分布

酒谷淳寛,山崎登志成, 喜久田寿郎, 吉澤壽夫, 平手博, 木田隆之
J. Vac. Soc. Jpn., 54(3), 184-187 (2011).
11-Mar

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