様々な圧力で堆積された酸化ニッケルスパッタ膜の多孔性評価とNO2検出特性

米澤正隆, 山崎登志成, 喜久田寿郎
第48回化学センサ研究発表会, 東京農工大小金井キャンパス B会場 (2009).

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