スパッタ法による金属膜の膜厚分布 酒谷淳寛, 木田隆之, 吉澤寿夫, 平手博, 山崎登志成, 喜久田寿郎 真空・表面科学合同講演会(第51回真空に関する連合講演会/第30回表面科学学術講演会 ) , 大阪大学吹田キャンパス, 大阪府吹田市 (2010).