マグネトロンスパッタ法による金属膜の膜厚分布Ⅱ：ターゲットと基板の距離およびエロージョン分布の影響 木田隆之, 吉澤寿夫, 高安勇吉, 喜久田寿郎, 山崎登志成 52回真空に関する連合講演会, 学習院大学 (2011).