マグネトロンスパッタ法による金属膜の膜厚分布（Ⅱ）：ターゲットと基板間の距離およびエロージョン分布の効果 山崎登志成, 木田隆之, 吉澤寿夫, 喜久田寿郎, 山本鷹樹 J. Vac. Soc. Jpn., 56(9), 382-385 (2013).