電子デバイスとしての薄膜材料

薄膜の特徴や機能は、多くのデバイスに応用されています。研究室では、主に水素ガスや二酸化窒素のガスセンサーの基礎研究を行っています。

薄膜技術が使われるデバイスの例を以下に示します。

  • 電気機能素子
    抵抗器、コンデンサ、透明電極、磁気シールド、回路配線、絶縁膜、太陽電池、薄膜トランジスタ、EL(エレクトロルミネッセンス)素子、表面弾性波素子、発光素子(LED、半導体レーザー)、半導体量子素子、超電導素子、磁性半導体素子、強誘電体メモリー、単電子素子
  • センサー素子
    光センサー、圧力センサー、歪みセンサー、磁気センサー、温度センサー、熱センサー、ガスセンサー、バイオセンサー
  • 磁気機能素子
    磁気ディスク、磁気テープ、磁気ヘッド(巨大磁気抵抗(GMR)素子、トンネル磁気抵抗(TMR)素子)
  • 光学機能素子
    反射防止膜、エネルギー遮蔽膜、カラーフィルター、光導波路
  • 物理・化学機能膜
    ハードコート膜、撥水膜、抗菌膜、光触媒

 

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