マグネトロンスパッタ法による金属膜の膜厚分布(Ⅱ):ターゲットと基板間の距離およびエロージョン分布の効果

山崎登志成, 木田隆之, 吉澤寿夫, 喜久田寿郎, 山本鷹樹
J. Vac. Soc. Jpn., 56(9), 382-385 (2013).

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