有限要素法によるマスクパターンの熱変形解析(その5) 高塚徹, 井田隆, 山淵龍夫, 吉沢寿夫, 山崎登志成, 広林茂樹, 中谷訓幸, 喜久田寿郎 Proceedings of the 2000 Joint Conference of Hokuriku Chapters of Electrical Societies, 447 (2000). 電気関係学会北陸支部連合大会, 北陸先端科学技術大学院大学, 15-16 Sep.