スパッタ膜のパターン形成用金属マスクの熱変形

吉沢寿夫,山崎登志成,山淵龍夫,広林茂樹,喜久田寿郎,中谷訓幸
真空, 44, 398 (2001).

コメントを残す

メールアドレスが公開されることはありません。 が付いている欄は必須項目です