マグネトロンスパッタ法による金属膜の膜厚分布

木田隆之, 喜久田寿郎, 山崎登志成, 吉沢寿夫, 高安勇吉
平成24年度 応用物理学会 北陸・信越支部 学術講演会, 富山県民会館, 富山市 (2012).

コメントを残す

メールアドレスが公開されることはありません。 が付いている欄は必須項目です