スパッタ膜のパターン形成用金属マスクの有限要素法熱変形解析 酒井敏行, 吉沢寿夫, 広林茂樹, 山淵龍夫, 山崎登志成, 喜久田寿郎, 中谷訓幸 Proceedings of the Joint Conference of Hokuriku Chapters of Institutes of Electrical Engineers, 487 (2001). 電気関係学会北陸支部連合大会, 富山商船高等専門学校, 13-14 Oct.