有限要素法によるマスクパターンの熱変形解析(その6) 高村寛樹, 山淵龍夫, 吉沢寿夫, 山崎登志成, 広林茂樹, 中谷訓幸, 喜久田寿郎 Proceedings of the Joint Conference of Hokuriku Chapters of Institutes of Electrical Engineers, 486 (2001). 電気関係学会北陸支部連合大会, 富山商船高等専門学校, 13-14 Oct.