スパッタ法で作製した酸化チタン薄膜の微細構造における熱処理効果と水素検出特性

長田康彦, 山崎登志成, 喜久田寿郎
J. Vac. Soc. Jpn., 53(5), 353-356 (2010).
Mar. 2010

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