種々の圧力で堆積したTiO2スパッタ膜の構造とH2ガスセンサ特性

長田康彦, 山崎登志成, 喜久田寿郎
第48回化学センサ研究発表会, 東京農工大小金井キャンパス B会場 (2009).

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