スリットを有するパターン形成用金属マスクの熱変形解析とその対策 吉澤寿夫，山崎登志成，山淵龍夫，広林茂樹，喜久田寿郎，中谷訓幸 日本シミュレーション学会, 117-120 (2003). 第22回日本シミュレーション学会大会 2003/06/18-19 5-4