スリットを有するパターン形成用金属マスクの熱変形解析とその対策

吉澤寿夫,山崎登志成,山淵龍夫,広林茂樹,喜久田寿郎,中谷訓幸
日本シミュレーション学会, 117-120 (2003).
第22回日本シミュレーション学会大会 2003/06/18-19 5-4

コメントを残す

メールアドレスが公開されることはありません。 が付いている欄は必須項目です