マグネトロンスパッタ法による金属膜の膜厚分布(II): スパッタ原子の放出角度分布の決定 木田隆之, 山本鷹樹, 喜久田寿郎, 山崎登志成 平成24年度 電気関係学会北陸支部連合大会, 富山県立大学, 射水市 (2012).