マグネトロンスパッタ法による金属膜の膜厚分布(II): スパッタ原子の放出角度分布の決定

木田隆之, 山本鷹樹, 喜久田寿郎, 山崎登志成
平成24年度 電気関係学会北陸支部連合大会, 富山県立大学, 射水市 (2012).

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