真空蒸着法、スパッタ技術などにより、半導体薄膜や半導体ナノワイヤー・ナノ粒子を作製し、その微細構造を調べるとともにそれらを使用したガスセンサーの研究を行っています。また、薄膜がどのように堆積されていくのかを実験とシミュレーションにより検討したり、ガスがどのようにしてセンサー材料に検出されるのかを考察したりするなど、材料を電子デバイスなどの素子として利用する際に必要となる基礎的な研究を行っています。
キーワード
真空蒸着、スパッタ技術、摩耗浸食、吸着、吸蔵、触媒、微細構造、薄膜、ナノマテリアル、ナノ粒子、ナノワイヤー、酸化物半導体、固体電解質、複合酸化物、電子デバイス、ガス(水素、硫化水素、酸化窒素NOx)センサー、高温材料、蛍光材料、酸化スズ(SnO2)、酸化タングステン(WO3)、酸化亜鉛、酸化チタン、走査型電子顕微鏡、透過型電子顕微鏡、フーリエ変換赤外分光、ガス吸着装置、
以下の項目には、研究室で行っている研究内容の解説が書かれています。